簡答：量測範圍決定設計複雜度與成本。

普通壓力錶： 量測範圍 0～250 bar，感測膜片厚度 0.5～1 mm，彈性小，精度容易達到 ±1%。

微差壓錶： 量測範圍 0～250 Pa（0.0025 bar），感測膜片厚度需控制在 0.05 mm 以內，極其脆弱，需要：

• 超精密製造工藝（公差 ±0.01 mm）
• 多級溫度補償電路
• 抗干擾屏蔽與隔離設計
• 超高成本的檢測與校正

市場上 95% 的「低價微差壓錶」精度其實是 ±5%～±10%，根本無法用於半導體。真正精度 ±0.5% 的微差壓錶必然昂貴，因為背後的研發與製程成本差異巨大。

台積電 N3/N2 製程的無塵室精度要求達到 ISO Class 2（≤ 35 particles/m³），相比上一代（ISO Class 3）提升 3 倍。這意味著：

• 壓力梯度控制精度需從 ±1 Pa 提升至 ±0.3 Pa
• 空氣流速監測精度需從 ±0.5 m/s 提升至 ±0.1 m/s（需用差壓計間接測量）
• 實時數據採樣率從 1 次/秒提升至 10 次/秒

舊型差壓計根本達不到這些要求。所以台積電每開一家新廠，都需要購置新一代高精度差壓系統。這就是為什麼 2026-2027 年市場機會爆發。

有三種定義方式，容易混淆：

• ±0.5% F.S.（滿量程百分比）： 誤差 = 滿量程值 × 0.5%。例如 0～100 Pa 錶，誤差固定 ±0.5 Pa，無論你測的是 10 Pa 還是 100 Pa
• ±0.5% R.D.（讀值百分比）： 誤差 = 當前讀值 × 0.5%。例如讀 100 Pa 時誤差 ±0.5 Pa，讀 10 Pa 時誤差 ±0.05 Pa。在低壓區表現更好
• ±0.5% 等級（ IEC 標準）： 複雜計算式，通常等同 F.S. 定義

ATLANTIS 的做法：同時提供兩種誤差說明，讓客戶清楚知道在「他的使用範圍」內真實精度是多少。大多數便宜貨只標 F.S.，在低壓區實際誤差可能高達 ±10%，根本無用。

關鍵是「化學兼容性」：

矽油隔膜： 成本低（¥100～200），但對冷卻液中的化學物質（某些高分子溶劑、氧化物）會膨脹變形，3～6 個月漂移 3～5%。

陶瓷隔膜： 成本高（¥1,000～2,000），但幾乎對所有化學物質無反應，5 年漂移 < 0.5%。

在半導體廠，設備停機 1 小時成本 ≈ 200～500 萬。所以選陶瓷隔膜多花的 ¥900 遠低於「提早故障導致的停機成本」。

ATLANTIS 原則：如果介質不確定，必選陶瓷。成本不是考量，可靠性是。

有三層次的補償：

Lv1 - 機械補償： 感測膜片本身設計抵消溫度效應，但範圍有限（±1～2°C），成本低。

Lv2 - 類比電路補償： 內置補償電路，在 3～5 個固定溫度點進行補償，其他點用線性插值，範圍 -20～+60°C，誤差 ±0.8～1%。

Lv3 - 數位補償（ATLANTIS SDPT-3100）： 內置溫度感測器 + 16 位 ADC + 微處理器，每 100ms 採一次溫度，動態計算非線性補償係數，範圍 -40～+80°C，誤差 ±0.2%。完全自動，無需手動設定。

半導體廠季節溫度差 10～20°C，用 Lv1 或 Lv2 精度會漂移 5～10%，無法接受。必須用 Lv3。

嚴格來說，半導體無塵室內部不屬於易燃易爆區（因為氧氣含量受控），所以防爆認證在技術上不強制。

但實務上：

• 台積電等大廠的採購規格往往「預設防爆認證」，因為供應商標準化
• 防爆外殼設計（隔爆結構）無副作用，還能額外保護電子元件
• 國際招標時（如英特爾新廠），防爆認證成為競標基本條件

建議：選有防爆認證的產品。多花 10～15% 成本，避免後續規格不符被打回。

三種判斷方法：

方法 1 - 快速對標： 用另一台同型號表對比。若兩台差值 > 1.5 倍額定誤差，說明至少一台故障。

方法 2 - 環境掃除法： 移除震動、電磁干擾源，觀察讀值是否穩定。若穩定，是環境問題；若仍不穩，是儀錶問題。

方法 3 - HART 自診斷（推薦）： ATLANTIS SDPT-3100 等智能錶內置自診斷功能，可報告膜片老化程度、電路健康度、溫度補償偏差等，能精確判斷故障類型。

多數廉價差壓計無自診斷，故障判斷全靠人工猜測，浪費時間。

4-20mA（類比）： 成本低，接線簡單（3 線），抗干擾能力強，長距離傳輸（> 100 公尺）仍可用。但信息量少（只有壓力值），無法診斷儀錶狀態。

RS-485（數位）： 成本稍高，需 PLC/模組支援，但可雙向通訊、遠端標定、自診斷。最多 32 個感測器共用一條線，經濟性高。

在半導體廠的建議：

• ≤ 8 點監測：用 4-20mA，簡單可靠
• > 8 點監測：用 RS-485，節省佈線成本 50～70%
• 需要遠端診斷：必選 RS-485（或 HART 協議）

量程選太大（例如工作範圍 25 Pa，選 0～250 Pa）：

• 解析度喪失。500 格刻度中你只用 2～5 格，精度形同虛設
• 無法發現小變化。微漏導致壓力下降 2 Pa，表看不出來

量程選太小（例如工作範圍 25 Pa，選 0～25 Pa）：

• 任何短時超壓（日常波動）都會損傷膜片
• 加速老化，1～2 年精度漂移 5% 以上

黃金法則：工作範圍的 1.5～2 倍。 例如工作 0～25 Pa，選 0～40 Pa 或 0～50 Pa。既保證精度，又留有安全裕度。

膜片是金屬，會發生「疲勞蠕變」：長期在同一壓力點工作，金屬結晶結構變化，導致彈性係數逐漸下降，讀值漂移。

校正週期建議：

• 常規環境（溫度穩定、無脈衝）：12～18 個月一次
• 高變工況（溫度波動、頻繁衝擊）：6～12 個月一次
• 半導體無塵室（溫度恆定、低脈衝）：18～24 個月一次

ATLANTIS 現場校正服務：上門校正 + 證書出具，1～2 小時內完成，費用 ¥2,000～5,000。比進口商轉寄到海外校正（需 3～4 週 + ¥8,000～15,000）便宜且快速。

會。液體中混入氣泡會改變介質的「音速」與「阻尼特性」，導致差壓讀值波動。

解決方案：

• 在感測器前加「脫氣隔膜」（gas barrier membrane），允許液體通過但阻止氣泡進入
• 定期「排氣」：停機時打開排氣閥，讓氣泡自然浮出
• 用「油充隔膜」而非「氮氣隔膜」，油的溶氣性比氮高，可吸收微量氣泡

ATLANTIS 提供客製化「脫氣隔膜組件」，可直接安裝在現有差壓計前，成本 ¥500～1,000，但能避免因氣泡導致的 30～50% 讀值波動。

4-20mA 信號在長線路中會衰減：

• 150 公尺：衰減 2～5%
• 300 公尺：衰減 5～15%
• 500 公尺以上：衰減難以預測

加上電磁干擾（工廠馬達、焊機等），信號會產生 ±10% 的噪音。

解決方案：

• < 150 公尺：標準 4-20mA + 屏蔽線，可直用
• 150～300 公尺：需加「中繼隔離模組」（¥3,000～5,000），重新放大信號
• > 300 公尺：必用 RS-485 或光纖通訊，成本更高但信號無衰減

許多廠家佈線時忽視這點，導致新廠完工後才發現遠端信號不穩，必須補佈隔離模組，成本暴增。ATLANTIS 在設計階段會主動告知客戶「遠距離佈線方案」，提前規劃。

因為 ±0.5% 是「儀錶本身精度」，實際使用精度還要考慮：

• 校正誤差： 校正基準器本身有精度（通常 ±0.3%），傳遞給你的產品
• 溫度漂移： 環境溫度偏離校正溫度，會產生額外誤差 ±0.2～0.5%
• 介質溫度影響： 被測介質溫度變化，膜片彈性係數變化，精度下降 ±0.2%
• 安裝應力： 接頭螺紋旋緊時受力不均，導致膜片預應力改變 ±0.1～0.3%
• 線路噪音： 若用 4-20mA 遠距傳輸，電磁干擾可達 ±0.5%

把以上都加起來（最壞情況），儀錶的 ±0.5% 精度可能降到 ±1.2% 甚至更差。

真正誠實的供應商會告訴你「在你的條件下，實際精度是 ±X%」。ATLANTIS 會進行現場「誤差分析」，列出各來源貢獻，給你最真實的數字。

感測膜片的耐久度分三個級別：

• 工作壓力： 儀錶正常運作範圍（例如 0～25 Pa）
• 最大超壓： 短時間（< 1 秒）能承受而不永久變形的最高壓力。通常是工作上限的 1.5～2 倍
• 破壞壓力： 膜片會永久破裂的壓力，通常是工作上限的 3～5 倍

例如 DMPG-X022（0～250 Pa）：

• 工作範圍：0～250 Pa
• 最大超壓：500 Pa（可承受，無永久損傷）
• 破壞壓力：1,000 Pa（膜片會破裂，不可修復）

在無塵室裡，若過濾系統突然堵塞，壓力可能瞬間飆升到 1,000 Pa，導致差壓計破壞。所以需要在感測器上游加「過壓洩放閥」（set at 500 Pa），保護儀錶。

兩種都可行，看應用場景：

有本地顯示（ATLANTIS 推薦）：

• 維保人員不用拿筆電就能檢查儀錶狀態
• 當 PLC 故障時，仍能看到現場實時壓力值
• 故障排查更快（例如「是傳感器錯誤還是 PLC 接線錯誤」一目瞭然）

無本地顯示（降成本版本）：

• 成本低 15～20%
• 但完全依賴 PLC，若 PLC 當機無法看到任何信息

在半導體廠，PLC 故障發生率 < 1 年一次，但發生時往往需要快速排查。所以「有本地顯示」是保險的選擇。

洩漏通常發生在兩個位置：

(1) 膜片微孔洩漏： 膜片在超壓時產生微裂紋，介質從裂口流出。

• 症狀：讀值逐漸下降，無法恢復
• 修理：不可修理，只能整機更換
• 預防：加過壓保護閥

(2) 接頭螺紋洩漏： 螺紋旋緊力不足或線程磨損。

• 症狀：接頭處有液體或氣體逸出
• 修理：可在現場用扳手加力或更換密封圈（¥500～1,000），通常解決
• 預防：安裝時用扭力扳手確保正確力矩

ATLANTIS 提供現場快速診斷與維修指導，可減少誤操作導致的損傷。

一體式（傳感器 + 變送器一體）：

• 優點：安裝簡單，成本低，佈線少
• 缺點：必須安裝在量測點附近，若環境熱源多（如蝕刻機旁），溫度補償難度大
• 適用：無塵室壓梯監測（環境溫度恆定）

分離式（傳感器遠離變送器）：

• 優點：傳感器貼近量測點，變送器遠離熱源，溫度補償容易
• 缺點：成本高 20~30%，佈線複雜（需單獨套管）
• 適用：機台內部高溫環境、複雜佈線場景

ATLANTIS 的建議：除非環境溫度波動 > 20°C，否則一體式夠用。在半導體無塵室裡，溫度控制 ±2°C，用一體式儀錶就很穩定。

沒有品質差異，只是成本結構不同：

進口品牌（例如德國、日本）：

• 研發成本：¥2,000 萬/年
• 運輸與關稅：15～25%
• 代理商佣金：20~30%
• 市場定位：「進口 = 高檔」溢價
• 最終價格：成本的 4~5 倍

ATLANTIS（台灣製造）：

• 研發成本：台灣工程師薪資較低，效率高
• 物流：台灣到台灣，運費近乎零
• 銷售：直接賣給廠商，無代理商層級
• 市場定位：「台灣製 = 可靠」，不打進口溢價牌
• 最終價格：成本的 2.5~3 倍

品質其實相同（同樣的感測晶片、同樣的校正標準），ATLANTIS 只是把成本優勢完全反映在價格上。

換供應商時主要考慮三個因素：

(1) 接線標準： 4-20mA 輸出是通用標準，不同品牌的錶都能直插現有 PLC 模組。無兼容性問題。

(2) 精度偏移： 新錶精度可能與舊錶略有不同（例如舊錶 ±1%，新錶 ±0.5%）。需要在 PLC 端重新校正基準點（加個偏移係數），通常 2~3 小時解決。

(3) 維保習慣： 若舊供應商每年定期校正，新供應商沒有這個習慣，精度會漂移。需要溝通好維保計畫。

ATLANTIS 的做法：供應商轉換時，我們會到現場進行「平行測試」（新舊錶同時運行 1~2 周），記錄數據差異，確保平滑過渡。成本 ¥5,000～8,000，但避免轉換過程中的工藝波動。

問這五個問題：

問題 1：「你們能否根據我的量測介質與環境溫度，建議隔膜材質？」

• 能詳細回答 = 真正懂行業。只會推薦「標準版」 = 沒深度

問題 2：「我的應用在 25 Pa，你們建議選 0～50 Pa 還是 0～250 Pa？為什麼？」

• 能說出「精度」與「安全裕度」的平衡邏輯 = 專業。只說「選大一點保險」 = 典型業務推銷

問題 3：「故障後多久能換新品？有沒有備貨？」

• 能說「24 小時內送到 + 現貨庫」 = 負責任。只說「聯絡代理商」= 推卸責任

問題 4：「能否提供『選型誤差分析表』，列出各環境因素對精度的影響？」

• 能提供 = 有深度研究。只說「FS 精度就是精度」= 浮於表面

問題 5：「你們有沒有國內半導體廠的導入案例，包括廠名（或匿名後的數據）？」

• 能舉 3 個以上真實案例 = 業界認可。只會說「很多廠用」 = 沒有證據

ATLANTIS 對以上五題，都能詳細回答。這就是為什麼行業信任我們。