真空度換算表完整指南 2026｜Pa・kPa・mbar・Torr・mmHg・psi 全單位對照 × 半導體・食品・製藥・HVAC 選型實務
真空度換算表完整指南 2026｜Pa・kPa・mbar・Torr・mmHg・psi 全單位對照 × 半導體・食品・製藥・HVAC 選型實務
資深工程師賴祥德 · ATLANTIS 台灣工業儀錶製造商 31年經驗 ·
從基礎換算到真空壓力錶選型，一次搞懂工廠現場所有真空度單位問題
為什麼工程師一定要搞懂真空度換算？
每次 John Travolta 在《Pulp Fiction》裡那個標誌性的困惑表情，就是很多工程師第一次拿到日本進口真空設備規格書、卻看到 Torr 單位時的內心寫照。然後再翻到歐洲型錄，單位又變成 mbar；美國設備標 psi；台灣廠商規格書寫 kPa……同一個製程，五種單位，換算錯一個，生產線就出問題。
這不是小事。根據工業安全統計，壓力量測單位混淆是製程事故的前五大人為失誤來源之一。對於必須在多個國際供應商間整合設備的 B2B 採購工程師、設備工程師、製程工程師而言，精確掌握真空度單位換算是每天都要用到的基礎工程能力。
ATLANTIS 昶特有限公司深耕台灣工業儀錶市場超過 31 年，每週都會接到來自半導體廠、製藥廠、食品包裝廠的技術詢問：「你們的負壓錶能不能顯示 Torr？」「我要量 -500 mbar，用哪款型號？」「這個 -76 cmHg 換成 kPa 是多少？」
這篇文章就是為了一次解決所有這些問題而生。
真空的定義與壓力表示方式
什麼是「真空」？
依照技術定義，真空（Vacuum）是指容器內的壓力低於當地大氣壓力的狀態。完全真空（Absolute Zero Pressure）在理論上是壓力為 0 Pa 的狀態——現實中無法達到，但可以無限趨近。工業上所說的真空通常是「部分真空」（Partial Vacuum）。
兩種壓力基準：絕對壓（abs）vs 錶壓（gauge）
這是真空度換算最容易出錯的概念：
| 壓力類型 | 基準點 | 真空下的值 | 標示方式 | 常用場合 |
|---|---|---|---|---|
| 絕對壓（Absolute） | 完全真空（0 Pa） | 0 ～ 101,325 Pa（正值） | 單位後加 abs、a | 真空泵浦、半導體製程、凍乾 |
| 錶壓（Gauge） | 當地大氣壓（≈101,325 Pa） | -101,325 Pa ～ 0（負值） | 單位後加 G、gauge | 工廠管路、HVAC、食品包裝、負壓傳送 |
絕對壓 (abs) = 大氣壓 (101,325 Pa) + 錶壓 (gauge)
⚠️ 工程師常犯的錯：真空泵浦型錄標示的「極限真空度」是絕對壓（如 0.5 mbar abs），而工廠壓力錶量程標示的是錶壓（如 -0.1 MPa，即 -100 kPa gauge）。購買前必須確認，否則量程根本對不上。
真空等級分類
| 真空等級 | 絕對壓範圍 | Torr 範圍 | 典型應用 |
|---|---|---|---|
| 粗真空（Rough Vacuum） | 101,325 ～ 3,300 Pa | 760 ～ 25 Torr | 食品包裝抽真空、HVAC 抽空 |
| 低真空（Low Vacuum） | 3,300 ～ 0.1 Pa | 25 ～ 0.75×10⁻³ Torr | 真空成型、真空乾燥、負壓輸送 |
| 中真空（Medium Vacuum） | 0.1 ～ 0.001 Pa | 7.5×10⁻⁴ ～ 7.5×10⁻⁶ Torr | 分子蒸餾、真空爐、濺鍍前處理 |
| 高真空（High Vacuum） | 0.001 ～ 10⁻⁷ Pa | 7.5×10⁻⁶ ～ 7.5×10⁻¹⁰ Torr | PVD/CVD、電子顯微鏡、同步輻射 |
| 超高真空（Ultra-High Vacuum） | < 10⁻⁷ Pa | < 7.5×10⁻¹⁰ Torr | 半導體光刻、粒子加速器、太空模擬 |
📌 工程師快記：ATLANTIS 現有壓力儀錶產品主要覆蓋粗真空至低真空範圍（彈性元件式、電子式壓力錶/傳送器）。高真空以上需要 Pirani、電離計等特殊感測原理，請洽技術部門確認合適產品。
真空度換算表：完整單位對照（最常用版）
以下是工業現場最常用的壓力單位互換係數，以標準大氣壓（1 atm = 101,325 Pa）為基準。
▌ 基準值對照表
| 單位 | 1 atm 等於 | 符號 | 主要使用地區/產業 |
|---|---|---|---|
| Pascal | 101,325 Pa | Pa | SI標準、科學研究、全球通用 |
| 千帕 | 101.325 kPa | kPa | 台灣、中國、歐洲工業通用 |
| 百帕 | 1013.25 hPa | hPa | 氣象、航空氣壓 |
| 毫巴 | 1013.25 mbar | mbar | 歐洲工業、真空泵浦型錄 |
| 巴 | 1.01325 bar | bar | 歐洲流體系統 |
| 托爾 | 760 Torr | Torr | 真空工業（全球）、實驗室 |
| 毫米汞柱 | 760 mmHg | mmHg | 醫療、真空爐、傳統儀錶 |
| 英吋汞柱 | 29.921 inHg | inHg | 北美 HVAC、航空 |
| 磅/平方英吋 | 14.696 psi | psi | 美規設備、機械工程（全球） |
| 公斤力/平方公分 | 1.0332 kgf/cm² | kgf/cm² | 日本、台灣傳統工業 |
| 微米（微托） | 760,000 micron | μm Hg / mTorr | HVAC 抽空驗收、冷凍空調 |
▌ 單位間互換係數矩陣
讀法：「行 → 列」表示乘以此係數。例如 1 kPa = 7.5006 Torr（第二行、Torr列）。
| From ↓ / To → | Pa | kPa | mbar | bar | Torr (mmHg) | inHg | psi | kgf/cm² |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 Pa | 1 | 0.001 | 0.01 | 10⁻⁵ | 7.501×10⁻³ | 2.953×10⁻⁴ | 1.450×10⁻⁴ | 1.020×10⁻⁵ |
| 1 kPa | 1,000 | 1 | 10 | 0.01 | 7.5006 | 0.2953 | 0.14504 | 0.010197 |
| 1 mbar | 100 | 0.1 | 1 | 0.001 | 0.7501 | 0.02953 | 0.01450 | 1.020×10⁻³ |
| 1 bar | 100,000 | 100 | 1,000 | 1 | 750.06 | 29.53 | 14.504 | 1.0197 |
| 1 Torr (mmHg) | 133.322 | 0.13332 | 1.3332 | 1.333×10⁻³ | 1 | 0.03937 | 0.01934 | 1.360×10⁻³ |
| 1 inHg | 3,386.39 | 3.38639 | 33.864 | 0.033864 | 25.400 | 1 | 0.49115 | 0.034532 |
| 1 psi | 6,894.76 | 6.89476 | 68.948 | 0.068948 | 51.715 | 2.03602 | 1 | 0.070307 |
| 1 kgf/cm² | 98,066.5 | 98.0665 | 980.665 | 0.980665 | 735.56 | 28.959 | 14.2233 | 1 |
▌ 真空度（負壓）常用對照表
以下以錶壓（Gauge Pressure）表示，正值代表正壓，負值代表真空（負壓）。完全真空錶壓 = -101.325 kPa = -1013.25 mbar = -760 Torr = -14.696 psi。
| 真空度（%） | kPa (gauge) | mbar (gauge) | Torr (gauge) | psi (gauge) | inHg (gauge) | Pa abs | 典型應用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0%（大氣壓） | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 101,325 | — |
| 10% | -10.13 | -101.3 | -76.0 | -1.470 | -2.992 | 91,193 | 輕微吸力 |
| 20% | -20.27 | -202.7 | -152.0 | -2.939 | -5.984 | 81,060 | — |
| 30% | -30.40 | -304.0 | -228.0 | -4.409 | -8.976 | 70,928 | — |
| 40% | -40.53 | -405.3 | -304.0 | -5.878 | -11.968 | 60,795 | — |
| 50% | -50.66 | -506.6 | -380.0 | -7.348 | -14.961 | 50,663 | 一般工業真空輸送 |
| 60% | -60.80 | -608.0 | -456.0 | -8.818 | -17.953 | 40,530 | — |
| 70% | -70.93 | -709.3 | -532.0 | -10.287 | -20.945 | 30,398 | 食品真空包裝 |
| 80% | -81.06 | -810.6 | -608.0 | -11.757 | -23.937 | 20,265 | 負壓病房（差壓監控） |
| 90% | -91.19 | -911.9 | -684.0 | -13.226 | -26.929 | 10,133 | 高規格食品/製藥包裝 |
| 95% | -96.26 | -962.6 | -722.0 | -13.961 | -28.425 | 5,066 | HVAC 抽空前驗收 |
| 99% | -100.31 | -1003.1 | -752.4 | -14.549 | -29.622 | 1,013 | 精密製程抽空 |
| 100%（完全真空） | -101.325 | -1013.25 | -760 | -14.696 | -29.921 | 0 | 理論極限，實務不可達 |
▌ 微托（Micron / μm Hg）對照表（HVAC 常用）
| Micron (μm Hg) | Torr | Pa (abs) | mbar (abs) | HVAC 意義 |
|---|---|---|---|---|
| 760,000 | 760 | 101,325 | 1013.25 | 標準大氣壓 |
| 10,000 | 10 | 1,333 | 13.33 | — |
| 1,000 | 1.0 | 133.3 | 1.333 | 一般抽空完成目標 |
| 500 | 0.5 | 66.7 | 0.667 | HVAC 標準抽空合格值 |
| 300 | 0.3 | 40.0 | 0.400 | 高規格冷媒系統要求 |
| 100 | 0.1 | 13.3 | 0.133 | 精密冷媒迴路 |
| 50 | 0.05 | 6.67 | 0.0667 | 醫療/實驗室製冷 |
真空度與各單位對應視覺化
下圖以對數刻度（Log Scale）呈現真空度從大氣壓到完全真空的各等級，以及常見工業應用的操作壓力區間：
壓力（Pa abs，對數刻度） 真空等級
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
101,325 Pa ▐██████████████████████████████▌ ← 大氣壓 (1 atm / 760 Torr)
│
10,000 Pa ▐████████████████▌ ← 食品真空包裝殘壓目標 (~90% 真空)
│
1,000 Pa ▐████████▌ ← HVAC 抽空 1000 micron
│ ← 粗真空 / 低真空分界
100 Pa ▐████▌ ← 凍乾製程主乾燥 (100-500 mTorr)
│
10 Pa ▐██▌ ← 半導體蝕刻製程下限
│
1 Pa ▐█▌ ← 分子蒸餾、真空爐
│ ← 低真空 / 中真空分界
0.001 Pa ▐▌ ← CVD 薄膜沉積
│
0.00001 Pa ▐ ← 高真空 (PVD、電子顯微鏡)
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
[粗真空] [低真空] [中真空] [高真空] [超高真空]
儀錶可直接量測 ←→ 需特殊感測原理（Pirani、Ion Gauge）
ATLANTIS 儀錶覆蓋範圍：△△△△△△△△△△△△
📊 資料來源：ULVAC 真空技術手冊（2023）、Setra Systems Industrial Vacuum Application Guide、IUPAC 壓力標準（1982年修訂，standard pressure = 100 kPa）、ISO 3529 真空分類標準。
各產業真空壓力標準與量測需求
🏭 半導體與電子製造
台灣半導體產業是全球最重要的晶片生產基地。晶圓廠製程設備（CVD、PVD、乾式蝕刻、離子植入）對真空度要求極嚴苛。前端製程（FEOL）的主要腔體真空操作區間如下：
| 製程步驟 | 真空度需求（abs） | 常用單位 | 量測儀器類型 |
|---|---|---|---|
| 晶圓搬運機器手臂吸盤 | -80 ～ -95 kPa (gauge) | kPa | 電子式負壓傳送器 |
| 負壓輸送管路監控 | -30 ～ -70 kPa (gauge) | kPa | 數位式負壓錶 |
| 乾式蝕刻腔體 | 0.13 ～ 13 Pa abs | Pa、mTorr | 電容隔膜計（MKS、Baratron型） |
| CVD/PVD 薄膜沉積 | 10⁻³ ～ 10⁻⁶ Torr abs | Torr | Pirani + 離子計複合 |
| 潔淨室正壓差（Class 10） | +10 ～ +50 Pa (gauge) | Pa | 高靈敏差壓計 |
值得注意的是，晶圓廠的機台維護工程師需要處理兩種完全相反的壓力需求：潔淨室空間維持正壓（防塵），而製程腔體維持負壓/真空（製程需要）。選型時務必確認安裝位置與介質。
🥩 食品加工與包裝
台灣食品業廣泛使用真空包裝延長保存期限，從便利商店鮮食、精肉包裝到航空餐食配送皆有應用。各包裝規格的真空度要求如下：
| 包裝類型 | 殘壓要求 (abs) | % 真空 | kPa (gauge) | 備註 |
|---|---|---|---|---|
| 一般乾貨真空包裝 | < 50 mbar abs | > 95% | -96 kPa | 堅果、茶葉、米 |
| 生鮮肉品真空包裝 | < 20 mbar abs | > 98% | -99.3 kPa | 延長保鮮，抑制好氧菌 |
| 即食熟食（超商） | < 10 mbar abs | > 99% | -100.3 kPa | 需配合冷藏鏈 |
| 工業罐頭真空封蓋 | 20 ～ 50 kPa abs | 50 ～ 80% | -50 ～ -81 kPa | 真空封蓋機壓力控制 |
| 食品凍乾（主乾燥） | 13 ～ 67 Pa abs | > 99.9% | ≈ -101 kPa | 即沖食品、寵物食品 |
食品接觸面的真空量測儀器必須符合食品衛生材質要求（316L 不銹鋼接液面、符合 FDA CFR 21 規範），並且便於 CIP/SIP 清洗。選用隔膜型壓力傳送器可有效防止食品殘留堆積在感測元件上。
💊 製藥與生技
製藥業的凍乾（Lyophilization）製程是最消耗真空度精度的應用之一。凍乾腔體壓力直接影響升華速率與產品含水率，進而影響藥品有效期。
| 凍乾製程階段 | 腔體壓力 (abs) | 換算 Torr | 量測需求 |
|---|---|---|---|
| 預冷凍（Freezing） | 1013 mbar | 760 Torr | 大氣壓，無真空 |
| 主乾燥（Primary Drying） | 0.1 ～ 0.5 mbar abs | 0.075 ～ 0.375 Torr | 精度 ±5% FS，長期穩定 |
| 二次乾燥（Secondary Drying） | < 0.05 mbar abs | < 0.038 Torr | 高精度電容隔膜計 |
| 充填惰性氣體（Backfill） | 800 ～ 1013 mbar abs | 600 ～ 760 Torr | 正壓控制 |
❄️ HVAC 冷凍空調
台灣 HVAC 施工規範（參考 CNS 14464）要求冷媒管路充填前進行抽真空作業，確保管路無水分與不凝性氣體。工程驗收標準直接用「micron（微米汞柱）」表示：
| 工程規格 | 驗收標準 | 換算 Pa abs | 換算 kPa abs | 說明 |
|---|---|---|---|---|
| 一般商用空調 | ≤ 500 micron | 66.7 Pa | 0.0667 kPa | 維持 30 分鐘不回升 |
| 精密環境（機房、醫院） | ≤ 300 micron | 40.0 Pa | 0.040 kPa | 需雙泵串聯抽空 |
| R-32/R-410A 新冷媒系統 | ≤ 200 micron | 26.7 Pa | 0.027 kPa | 新冷媒對水分更敏感 |
| 負壓病房差壓監控 | -2.5 ～ -8 Pa (差壓) | 差壓值 | 差壓值 | 相對走廊/緩衝區的壓差 |
ATLANTIS 長期服務 HVAC 設備商、空調工程公司，提供適合管路壓力監控與空調設備壓差量測的完整儀錶解決方案。詳見 冷凍空調壓力量測指南。
ATLANTIS 負壓/真空量測推薦產品
以下為 ATLANTIS 自有品牌適用於負壓與真空量測應用的主力產品，規格均可依客戶需求客製化量程：
DTT-P4 二線式溫度傳送器
PT100Ω 感測器，4-20mA 輸出，適用於真空乾燥設備溫度監控，可與真空壓力傳送器整合，構成真空腔體溫度+壓力雙參數監控系統。
製藥凍乾 食品乾燥 4-20mA
ILDS 系列 管道式隔膜座
最高可達 300℃，直接安裝於管道，搭配負壓壓力錶使用。適合高溫高壓或腐蝕性介質的真空管路壓力量測，有效隔離介質防止堵塞。
高溫介質 腐蝕介質 OEM 服務
LPTX-HT35S 高溫導壓液位傳送器
獨特導壓結構，適用於腐蝕性強的液體真空輸送管路監控。應用於石油化工、能源、水處理等系統的負壓液位與壓力複合量測。
石化工業 水處理 液位量測
AT25 系列 流量開關
最大耐壓 1500 psi，易於安裝於現場管道。可應用於真空系統冷卻水迴路流量監控，確保真空泵浦冷卻正常運作，防止因冷卻不足造成泵浦損壞。
高壓管路 流量監控 OEM 服務
DHT-SD 系列 數位手持溫度計
多種熱電偶可選，資料記錄可達 14,000 筆。適用真空腔體外壁溫度巡迴量測，以及凍乾設備板架溫度現場稽查。
手持式 凍乾稽查 資料記錄
▲ 以上產品圖片與規格來自 ATLANTIS 官方產品頁面。如需完整選型建議，請聯繫業務部門。
實際導入案例 × 量化成效
📋 案例 A：食品廠真空包裝線壓力監控升級
客戶類型：台灣北部某知名食品加工廠（匿名）
問題描述：舊有機械式真空錶讀值不穩、錶面霧化，操作員無法準確判斷包裝是否達到指定真空度（-95 kPa gauge），導致每批次不合格率達 3.2%，退品損失每月約 NT$18 萬。
ATLANTIS 方案：更換電子式壓力傳送器（量程 -0.1 MPa gauge），4-20mA 輸出接入 PLC，設定 -93 kPa 下限警報，搭配 ATLANTIS 數位顯示器現場讀取。
導入成效：
| 項目 | 導入前 | 導入後 | 改善幅度 |
|---|---|---|---|
| 每批次不合格率 | 3.2% | 0.4% | ↓ 87.5% |
| 每月退品損失 | NT$ 18 萬 | NT$ 2.3 萬 | ↓ NT$ 15.7 萬/月 |
| 壓力錶更換頻率 | 每 4 個月 | 每 36 個月（預估） | ↓ 維護成本 75% |
| 操作員讀值爭議 | 每週 3-5 次 | 0 次 | 完全消除 |
📋 案例 B：製藥廠凍乾製程壓力穩定性改善
客戶類型：中部某生技製藥公司（匿名），生產注射用凍乾粉針
問題描述：凍乾腔體壓力傳送器頻繁漂移，每 6 個月需重新校正，且 GMP 稽查時出現量測系統 URS 不符事項。
ATLANTIS 方案：建議改用 316L 全不銹鋼接液面的高精度壓力傳送器，搭配 TAF 認可校正服務，提供完整的量測系統校正紀錄（CSV + PDF）。
導入成效：
| 項目 | 導入前 | 導入後 |
|---|---|---|
| 壓力穩定性（6個月漂移） | ±2.8% FS | ±0.35% FS |
| 年度校正次數 | 2次/年 | 1次/年（符合 GMP 週期） |
| GMP 稽查量測系統不符事項 | 每次稽查平均 1.4 項 | 0 項（連續 3 次） |
| 年度節省校正人工成本 | — | NT$ 8.5 萬/台 |
📋 案例 C：HVAC 空調公司施工品質提升
客戶類型：台北某 HVAC 系統整合商（匿名），承接半導體廠空調工程
問題描述：使用傳統 Bourdon 管真空錶驗收，讀值精度不足，業主要求達到 300 micron 以下，但無法提供數位記錄作為施工文件。
ATLANTIS 方案：採用 ATLANTIS 數位壓力記錄計，可同步記錄抽空曲線並輸出 CSV 檔，作為正式驗收文件。
| 指標 | 傳統做法 | ATLANTIS 方案 |
|---|---|---|
| 驗收精度 | 目測讀值，±50 micron 誤差 | 數位讀值，±5 micron 精度 |
| 驗收文件 | 手寫記錄（業主不接受） | 自動 CSV 記錄 + 時間戳 |
| 施工爭議次數 | 每月 1-2 次 | 0 次 |
| 業主信任度評分 | 72分（業主問卷） | 94分 |
負壓/真空壓力儀錶選型決策矩陣
面對真空量測選型，ATLANTIS 31 年工程師團隊整理出以下決策框架，幫助您不用比較就能選到對的型號：
| 決策因素 | 低規格需求 | 一般工業需求 | 高規格需求 |
|---|---|---|---|
| 精度 | 2.5 級（±2.5% FS） | 1.0 ～ 1.6 級 | 0.25 ～ 0.5 級 |
| 輸出形式 | 機械指針式（現場讀取） | 電子式（4-20mA） | 電子式＋數位通訊（Modbus） |
| 接液材質 | 銅合金 | 304 不銹鋼 | 316L 不銹鋼 / 哈氏合金 |
| 防護等級 | IP54 | IP65 | IP67 / IP69K |
| 填充液需求 | 無（乾式） | 甘油充油（振動環境） | 矽油（食品/低溫）或無填充（凍乾） |
| 量程建議 | 工作點在 1/3～2/3 量程內 | 同左，±15% 裕度 | 全真空量程（-0.1 MPa） |
| 認證需求 | 無特殊要求 | CE、CNS | TAF 校正、FDA 材質證明、GMP文件 |
| 典型應用 | 一般水處理管路、灌溉 | HVAC、食品包裝、工業真空輸送 | 半導體、製藥凍乾、潔淨室 |
選型快速問答樹（Decision Tree）
Q1: 你的介質是否含腐蝕性成分或食品？ ├─ 是 → 選 316L 接液材質 / 隔膜型（ILDS） └─ 否 → 繼續 Q2: 壓力是否有脈動或振動環境？ ├─ 是 → 選充油型（甘油/矽油） └─ 否 → 乾式即可 Q3: 需要遠端監控或 PLC 整合？ ├─ 是 → 選壓力傳送器（4-20mA 或 Modbus） └─ 否 → 現場指針式壓力錶 Q4: 是否需要 GMP / TAF 校正文件？ ├─ 是 → 聯絡 ATLANTIS 業務，提供完整文件服務 └─ 否 → 標準出廠校正即可 Q5: 真空量程是否需要同時涵蓋正壓？ ├─ 是 → 選複合量程錶（如 -0.1 ～ 0.5 MPa） └─ 否 → 純真空量程（-0.1 MPa）
✅ 已導入廠案例背書：ATLANTIS 負壓儀錶已成功應用於台灣多家半導體設備配件廠、食品包裝設備商、製藥 EPC 承包商。案例詳情請洽業務部門，可提供非保密性參考規格書。
工程師現場快速換算公式彙整
以下整理最常用的快速換算公式，方便現場工程師不帶計算機也能做到 90% 精度估算：
| 換算目的 | 快速近似公式 | 精確倍數 | 誤差 |
|---|---|---|---|
| kPa → psi | ÷ 7（例：70 kPa ≈ 10 psi） | ÷ 6.895 | 1.5% |
| psi → kPa | × 7（例：10 psi ≈ 70 kPa） | × 6.895 | 1.5% |
| bar → kPa | × 100（精確） | × 100 | 0% |
| mbar → Pa | × 100（精確） | × 100 | 0% |
| Torr → Pa | × 133（例：760 Torr ≈ 101,080 Pa） | × 133.322 | 0.24% |
| kPa → Torr | × 7.5（例：100 kPa ≈ 750 Torr） | × 7.5006 | 0.08% |
| inHg → kPa | × 3.4（例：10 inHg ≈ 34 kPa） | × 3.386 | 0.4% |
| kgf/cm² → bar | ≈ 1（例：1 kgf/cm² ≈ 0.98 bar） | × 0.98067 | 1.9% |
| micron → Pa abs | ÷ 7,500（例：500 micron ≈ 66.7 Pa） | ÷ 7,500.6 | 0.08% |
| % 真空 → kPa (gauge) | × (-1.013)（例：90% → -91.2 kPa） | × (-1.01325) | 0.02% |
單位換算記憶口訣（工程師版）
🔑 「1 大氣壓 = 101 kPa ≈ 1 bar ≈ 760 Torr ≈ 15 psi ≈ 30 inHg」
把這行背起來，其他所有換算都能用比例推導。
🔑 mbar 跟 Pa 的關係：1 mbar = 100 Pa（差兩個零）
🔑 kPa 跟 Torr 的關係：1 kPa ≈ 7.5 Torr
🔑 kPa 跟 psi 的關係：7 kPa ≈ 1 psi（近似）
真空度換算與選型 FAQ × 20 問
1真空度換算最常用的單位有哪些？
工業上最常見的真空壓力單位為：Pa（帕斯卡，SI標準單位）、kPa（千帕）、mbar（毫巴）、Torr（托，等同mmHg）、mmHg（毫米汞柱）、inHg（英吋汞柱）、psi（磅力/平方英吋）、kgf/cm²（公斤力/平方公分）。半導體業多用 Pa、Torr；HVAC 用 inHg 或 micron；食品包裝業多用 kPa 或 mbar。台灣工業現場最常見 kPa 與 kgf/cm² 混用的情況，建議採購儀錶時統一要求顯示 kPa，減少換算錯誤。
21 atm（標準大氣壓）等於多少各單位？
1 標準大氣壓（atm）= 101,325 Pa = 101.325 kPa = 1013.25 mbar = 760 Torr = 760 mmHg = 29.92 inHg = 14.696 psi = 1.0332 kgf/cm²。這是真空度換算的基準參考值，強烈建議工程師熟記。完全真空的錶壓值即為以上各數的負值。
3真空度（負壓）的絕對壓與錶壓有何差異？怎麼換算？
絕對壓（abs）以完全真空（0 Pa）為基準，永遠為正值。錶壓（gauge）以當地大氣壓為基準，真空狀態下為負值。換算公式：絕對壓 = 大氣壓（101,325 Pa）+ 錶壓。例：系統錶壓為 -80 kPa，則絕對壓 = 101.325 + (-80) = 21.325 kPa abs。購買負壓壓力錶時必須確認儀錶標示的是哪種表示方式，以免量程根本對不上。
4半導體製程真空系統通常要求多少真空度？
半導體蝕刻製程（乾式蝕刻）通常需要 1 ～ 100 mTorr（約 0.13 ～ 13 Pa abs）；PVD/CVD 薄膜沉積需要 10⁻³ ～ 10⁻⁶ Torr（高真空至超高真空）；晶圓搬運機械手臂吸盤真空通常為 -80 kPa 至 -95 kPa（錶壓），此範圍可用電子式負壓傳送器直接量測。ATLANTIS 提供適用於晶圓廠設備配件的高精度負壓傳送器，材質可客製化。
5食品包裝業的真空封裝標準是多少？用哪個單位最方便？
食品真空包裝通常要求殘壓低於 20 mbar abs（≈ 15 Torr），相當於約 -980 mbar（錶壓）或 -98 kPa（錶壓）。高規格熟食、生鮮肉品可能要求殘壓低於 5 mbar abs 以確保保鮮效果。台灣食品業多用 kPa，歐系進口設備多用 mbar，建議機器控制器能雙單位顯示。選用符合 FDA/食品級材質認證的壓力傳送器非常重要，避免安全疑慮。
6HVAC 冷凍空調系統抽真空的標準壓力是多少？
HVAC 施工規範要求冷媒管路在充填冷媒前抽真空至 500 microns（微米汞柱）以下，即 0.5 Torr = 66.7 Pa abs。部分高規格工程（精密機房、醫院、半導體廠空調）要求達到 300 microns（39.9 Pa abs）。真空確認通常需維持 30 分鐘以上不回升，才代表系統無洩漏。新冷媒（R-32、R-454B）對水分更敏感，建議標準提高至 200 microns。
7工業用負壓壓力錶量程應該如何選擇？
負壓壓力錶量程選擇原則：實際工作壓力應落在量程的 1/3 至 2/3 區間。全真空（-101.325 kPa）應選用 -0.1 MPa 全真空量程錶。若系統可能在真空與正壓之間切換（如氣泡泵、負壓輸送），應選用複合量程壓力錶（如 -0.1 ～ 0.5 MPa）。量程過大會降低讀取精度，量程過小則有爆錶風險。ATLANTIS 提供多種量程客製化服務，請洽 Ian（分機27）或 Nori（分機16）。
8真空壓力傳送器 4-20mA 輸出如何對應到真空度？
4-20mA 輸出對應真空度範圍取決於量程設定。例如量程為 -100 kPa（錶壓）：4mA = 0 kPa（大氣壓，無真空）；20mA = -100 kPa（接近完全真空）。中間值線性換算：V(kPa) = (I - 4) / 16 × (-100)。例如 12mA 代表 -50 kPa。選用 ATLANTIS PT 系列壓力傳送器可搭配 PLC 進行即時監控，並支援量程客製化，適合特定製程需求。
9Torr 和 mmHg 是一樣的單位嗎？
兩者幾乎相等但嚴格上略有差異。1 Torr = 101,325/760 Pa = 133.3224 Pa；1 mmHg（依歐盟定義）= 133.322 Pa。兩者差異小於七百萬分之一（< 0.000015%），實務上視為相同。真空爐業慣用 Torr，醫療/生理學多用 mmHg。在工業量測精度範圍內，可以直接互換使用，無需特別換算。
10製藥業凍乾製程需要多少真空度？
醫藥凍乾製程第一階段（主乾燥）通常維持腔體壓力 100 ～ 500 mTorr（13 ～ 67 Pa abs）；第二階段（二次乾燥）可進一步降至 50 mTorr（6.7 Pa abs）以下。由於凍乾腔體需要長時間維持高真空，選用響應快速、長期穩定性高的電容隔膜式壓力傳送器是業界標準做法。GMP 環境下需提供完整校正文件，ATLANTIS 提供 TAF 認可校正服務。
11真空度換算為百分比真空（% Vacuum）怎麼算？
百分比真空（% Vacuum）= (1 - Pabs / Patm) × 100%。例如：系統絕對壓為 20 kPa，大氣壓 101.325 kPa，則 % Vacuum = (1 - 20/101.325) × 100% ≈ 80.3%。完全真空 = 100%；大氣壓 = 0%。此表示法常見於食品包裝與工業抽真空設備規格書，直覺易懂，但要注意它不是線性的壓力值，不能直接用於儀錶量程計算。
12負壓壓力錶安裝位置有什麼注意事項？
負壓儀錶安裝注意：(1) 避免安裝於管路最低點，液體殘留會影響讀值；(2) 若介質含有粉塵或黏稠物，應加裝隔膜座（Diaphragm Seal）；(3) 垂直安裝為佳，避免指針重力偏差；(4) 對於脈動真空系統（如往復式真空泵），建議加裝緩衝器（Snubber）或選用充油型錶；(5) 不銹鋼材質優先選用於潮濕或腐蝕環境。ATLANTIS ILDS 系列隔膜座可有效解決介質堵塞問題。
13psi 轉換 kPa 的快速換算方法？
快速換算記憶法：1 psi ≈ 6.895 kPa（精確值）。工程師常用近似：1 psi ≈ 7 kPa（誤差約 1.5%，足以用於現場估算）。反向：1 kPa ≈ 0.145 psi。負壓換算同理：-14.7 psi ≈ -101.3 kPa（即完全真空錶壓值）。美規設備規格 -5 psig 換算為 -34.5 kPa，-10 psig = -68.9 kPa，-14.7 psig ≈ -101.3 kPa（完全真空）。
14真空壓力錶的精度等級如何選擇？
依應用嚴苛程度：一般工業管路監控選 1.6 級或 2.5 級（精度 ±1.6% 或 ±2.5% FS）即可；半導體潔淨室、製藥凍乾、精密化工選 0.5 級（±0.5% FS）；實驗室基準校正選 0.25 級或更高。精度越高通常價格越貴、維護成本也越高，應依實際製程需求選擇，切勿過度規格（Over-spec）浪費預算。ATLANTIS 提供 0.5 級至 2.5 級全系列負壓儀錶選擇。
15mbar 和 Pa 之間如何換算？
1 mbar = 100 Pa。反向：1 Pa = 0.01 mbar。常用對照：1013.25 mbar = 101325 Pa = 1 atm；1 mbar = 0.1 kPa = 0.75 Torr = 0.0145 psi。mbar 常用於歐洲工業標準與氣象量測，在真空泵浦型錄上也非常普遍。記憶方式：mbar → Pa 就是「在數字後面加兩個零」；Pa → mbar 就是「把小數點往左移兩位」。
16醫院負壓病房的壓差標準是多少？
依據 CDC 與 ASHRAE 170 標準，醫院負壓隔離病房需維持相對走廊/緩衝區至少 -2.5 Pa（≈ -0.01 inWC）的負壓差，部分規範要求 -8 Pa 以確保氣流方向正確（由走廊流向病房，防止感染源外洩）。台灣 COVID-19 疫情期間多家醫院緊急增設負壓病房，ATLANTIS 差壓計（量程 0 ～ 50 Pa 或 0 ～ 125 Pa）曾作為監控設備供應。詳見 醫院負壓病房差壓計選型指南。
17工業真空泵浦的性能規格怎麼看？
真空泵浦規格主要看：(1) 極限真空度（Ultimate Vacuum）：泵浦能達到的最低壓力（絕對壓），越低代表越強；(2) 抽氣速率（Pumping Speed）：L/min 或 m³/h，越大代表抽氣速度越快；(3) 工作壓力範圍（Operating Range）；(4) 電機功率；(5) 冷卻方式（風冷/水冷）。建議選擇極限真空度優於實際需求至少一個數量級的泵浦，保留充足操作裕度以應對洩漏和系統老化。
18真空壓力傳送器和真空壓力開關有何不同？應該選哪個？
真空壓力傳送器輸出類比訊號（如 4-20mA 或 0-10V），可持續監控真空度變化，適合數據記錄、PLC 控制、報警系統整合；真空壓力開關在設定點觸發開關訊號（ON/OFF），結構簡單、成本低，適合作為過低真空保護聯鎖。最佳做法：兩者搭配使用——傳送器做連續監控（整合入 SCADA/DCS），開關做安全聯鎖（獨立線路，不依賴 PLC 健康狀態）。ATLANTIS 的 DPS 系列數位壓力開關可兼具部分傳送器功能（LED 顯示+開關輸出）。
19如何判斷真空系統是否有洩漏？
洩漏判斷標準做法：(1) 抽真空至目標壓力後，關閉泵浦閥門，觀察壓力是否回升（Rise Rate Test）；(2) 5 分鐘內壓力上升超過 5% 代表有顯著洩漏；(3) 使用氦氣質譜儀偵漏（Helium Leak Detection）精度可達 10⁻¹² Pa·m³/s；(4) 肉眼可用真空油脂（Vacuum Grease）塗抹接頭觀察壓力變化。ATLANTIS PT/DPS 系列可作為監測工具，精準記錄壓力回升曲線，作為維修依據。
20ATLANTIS 有哪些產品適合負壓/真空壓力量測？如何詢價？
ATLANTIS 提供多款適合負壓/真空應用的產品：SF-SC 系列不銹鋼壓力錶（含負壓量程，如 -0.1 MPa、-0.1～0.5 MPa 複合量程）、DPS 系列數位壓力開關（可設定負壓報警點，4-20mA + 繼電器輸出）、PT 系列壓力傳送器（負壓量程可客製，4-20mA）、ILDS 系列管道式隔膜座（高溫腐蝕介質配套使用）。歡迎聯繫 ATLANTIS 業務一部 Ian（分機27） 或業務二部 Nori（分機16），提供應用場景即可獲得免費選型建議。
為何選擇 ATLANTIS？31 年台灣製造專業
柏拉圖在《對話錄》中描述的理想文明，追求的是對精密技術的極致掌握。ATLANTIS 昶特有限公司以「Re-Atlantis」為使命，自 1993 年創立至今，以超過 31 年的工業儀錶製造與服務經驗，讓台灣的工廠、半導體廠、食品廠、製藥廠的每一條管路，都能被精準監控。
我們深知，一支量程選錯的壓力錶，輕則數據失真，重則可能引發製程事故、GMP 不符、食安危機。這就是為什麼 ATLANTIS 不只賣儀錶——我們提供完整的選型諮詢、材質認證文件、TAF 認可校正服務，讓您的量測系統從採購到維護都無後顧之憂。
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